오존발생기
반도체용(오존농도 15%) 산업용 오존발생기
용도 및 특징
- 상용오존농도 220/㎥(약 15%)
- 반도체 장비용
- 고농도 오존생성
- SV, PV Digital 설정 및 표시
- 외부접점을 통한 오존발생기 동작제어 기능
상세제원
모델명 | CN-1 |
오존농도 | MAX 220g/㎥ |
산소 1.0LPM 기준 | |
소비전력 | MAX 0.7KW (산소발생기, 냉각기 별도) |
전원사양 | 220V 1Φ 60Hz |
냉각방식 | 수냉식 전용 |
냉각수 요구량 | 3LPM 이상 (수온 4℃이하 ) |
유량조절 | Flow Controller |
오존농도 조절 | Digital Volume |
표시장치 | 1. LCD Display -RUN, PURGE, ERROR, PV[%], SV[W] 표시 |
2. 측정기LCD : 오존 발생 농도값 표시 | |
3. Controller : Remote 동작 시 목표 오존농도 설정 | |
4. Flow Controller : 공급가스 유량 설정 | |
5. O₃압력계 : 오존발생기 내부압력 표시 | |
오존발생량제어 | 소비전력기준 12～100% 조절 |
Gas Inlet, Outlet Fitting | 1/4"(6.3Φ) |
외함주요재질 | Stainless Steel, Aluminum |
크기(WXDXH) | 479 × 446 × 843(mm) |
제품중량 | 약 60Kg (산소발생기, 냉각기 별도) |
동작조건 | ⦁ 정상운전온도 (0℃~30℃) ⦁ 통풍이 잘되고 습기가 없는 곳 |
외형도
