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반도체용(오존농도 15%) 산업용 오존발생기

용도 및 특징

  • 상용오존농도 220/㎥(약 15%)
  • 반도체 장비용
  • 고농도 오존생성
  • SV, PV Digital 설정 및 표시
  • 외부접점을 통한 오존발생기 동작제어 기능

상세제원

모델명

CN-1

오존농도

MAX 220g/

산소 1.0LPM 기준

소비전력

MAX 0.7KW (산소발생기, 냉각기 별도)

전원사양

220V 1Φ 60Hz

냉각방식

수냉식 전용

냉각수 요구량

3LPM 이상 (수온 4℃이하 )

유량조절

Flow Controller

오존농도 조절

Digital Volume




표시장치 

  1. LCD Display -RUN, PURGE, ERROR, PV[%], SV[W] 표시

  2. 측정기LCD : 오존 발생 농도값 표시

  3. Controller : Remote 동작 시 목표 오존농도 설정

  4. Flow Controller : 공급가스 유량 설정

  5. O₃압력계 : 오존발생기 내부압력 표시

오존발생량제어

소비전력기준 12100% 조절

Gas Inlet, Outlet Fitting

1/4"(6.3Φ)

외함주요재질

Stainless Steel, Aluminum

크기(WXDXH)

479 × 446 × 843(mm)

제품중량

60Kg (산소발생기, 냉각기 별도)

동작조건

⦁ 정상운전온도 (0~30)

⦁ 통풍이 잘되고 습기가 없는 곳

외형도

오존텍

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